GZO/AGZOターゲット

ガリウム/アルミドープ酸化亜鉛ターゲット

GZO/AGZOターゲット

製品紹介

GZO（ガリウムドープ酸化亜鉛）とAGZO（アルミドープ酸化亜鉛）ターゲット。純度≥4N、密度≥7.1、抵抗率≤0.3×10⁻³Ω・cm、結晶粒径≤5μm。低コスト・高機能な透明導電酸化物方案でPV・タッチ・フレキシブル電子コーティングに適。

技術仕様

純度≥ 4N
密度(111) ≥ 6.32 g/cm³；(136) ≥ 5.82 g/cm³
結晶粒径≤ 10 μm
抵抗率(111) ≤ 50 mΩ·cm；(136) ≤ 100 mΩ·cm
単節最大長さ550 mm
特性摻雜鋅氧化物靶材，適配透明導電與光伏
RPD/IZOターゲット
精密セラミック構造部品

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