精密セラミック構造部品

Name: 精密セラミック構造部品
Brand: 広東オライ新素材株式会社

半導体装置用耐食・耐熱構造部品

製品紹介

高純度アルミナ・ジルコニア等の先進セラミックを精密成形・焼結し、優れた耐食性・耐熱性を実現。エッチャー・PVD/CVD装置のチャンバーライナー、静電チャック（ESC）、絶縁リング等の核心部品として、半導体核心製造装置の安定稼働を支える。

半導体チップ配線層用高純度銅スパッタリングターゲット、純度≥99.99%、結晶粒径≤70μm

TFT-LCDディスプレイパネル用高純度平面ITOターゲット