RPD/IZOターゲット

RPD成膜・IZOジルコニウムドープ酸化物ターゲット

RPD/IZOターゲット

製品紹介

RPDターゲットとIZO(ジルコニウムドープ酸化インジウム)ターゲットは多様な透明導電用途をカバー。RPDは純度≥4N、密度≥6.8でペロブスカイト・高級タンデム電池に、IZOは純度≥4N、密度≥5.58、スズ含有偏差±0.5%で新型PV・ディスプレイコーティングに適。

技術仕様

RPD密度≥ 6.8 g/cm³
RPD結晶粒径≤ 10 μm
RPD抵抗率≤ 10 mΩ·cm
IZO密度(111) ≥ 5.58 g/cm³
IZO抵抗率≤ 10 mΩ·cm
単節最大長さ550 mm
成分ITO/IZO/無銦等(客製化可)
OMHT高効率ターゲット
GZO/AGZOターゲット

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