OMHT高効率ターゲット

高効率透明導電酸化物ターゲット

OMHT高効率ターゲット

製品紹介

OMHT高効率ターゲットは高効率透明導電用途に最適化。純度≥4N、密度≥6.9、抵抗率≤200×10⁻³Ω・cm、結晶粒径≤5μm、表面粗さ≤0.8μm。高緻密・優れた成膜均一性で高級タッチ・ディスプレイコーティングに適。

技術仕様

純度≥ 4N
密度≥ 6.9 g/cm³
結晶粒径≤ 5 μm
抵抗率≤ 200 mΩ·cm
単節最大長さ580 mm
特性高效率氧化物靶材,適配高端顯示
TCOMインジウムフリーターゲット
RPD/IZOターゲット

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