TCOMインジウムフリーターゲット

インジウムフリー透明導電酸化物ターゲット

TCOMインジウムフリーターゲット

製品紹介

TCOMインジウムフリーターゲットは非インジウム透明導電酸化物系で高機能導電膜を実現し、インジウム依存を低減。純度≥4N、密度≥7.1、主要指標は業界先進水準に達し、新型ディスプレイ・タッチ分野の低コスト・持続可能な方案に適。

技術仕様

純度≥ 4N
密度≥ 7.1 g/cm³
結晶粒径≤ 5 μm
抵抗率≤ 0.3 mΩ·cm
単節最大長さ580 mm
特性無銦環保靶材,替代ITO降本
IGZOスパッタリングターゲット
OMHT高効率ターゲット

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