IGZOスパッタリングターゲット

電子移動度15cm²/V·s、国際トップ級

IGZOスパッタリングターゲット

製品紹介

電子移動度15cm²/V·sの高機能結晶IGZOターゲット。国際トップ水準に匹敵し、国内でも少数の高世代ライン安定供給可能メーカー。国産代替・新型ディスプレイ技術の恩恵を受け、高級AMOLEDフレキシブルパネル・Micro-LEDマイクロディスプレイ・車載高解像度パネルに採用。

技術仕様

電子移動度15 cm²/V·s
純度≥ 4N
密度(111) ≥ 6.32 g/cm³;(136) ≥ 5.82 g/cm³
結晶粒径≤ 10 μm
抵抗率(111) ≤ 50 mΩ·cm;(136) ≤ 100 mΩ·cm
単節最大長さ550 mm
ITOスパッタリングターゲット
TCOMインジウムフリーターゲット

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