ITOスパッタリングターゲット

パネルディスプレイ核心素材、純度≥4N5

ITOスパッタリングターゲット

製品紹介

純度≥4N5、密度≥理論密度99.5%、回転ターゲット利用率70%超。純度・密度指標は国内トップクラス。BOE・CSOT・HKC等の主要パネルメーカー認証済み、LCD/OLEDパネル・タッチパネル・薄膜太陽電池に広く採用。

技術仕様

純度≥ 4N5
密度≥ 99.5% 理论密度（≥ 7.135 g/cm³）
結晶粒径≤ 5 μm
表面粗さ≤ 1.6 μm
抵抗率≤ 160 mΩ·cm
回転ターゲット利用率> 70%
最大長さ平面 1100 mm / 回転 1200 mm
認証BOE、CSOT、HKC認證通過
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