欧莱新材材料研究院
欧莱新材材料研究院共设立了6个市级、省部级科研平台和9个内设研发机构，拥有多名国内外具有先进行业经验的高端人才，研究课题涉及先进铜材料、靶材制备技术、半导体电子材料、薄膜技术、新能源材料（光伏电池、动力电池）、高纯金属、稀散金属、检测分析技术等领域，致力于打造产研用一体化的企业研发创新体系。
6个科研平台
市级、省部级科研平台
高端人才团队
国内外具有先进行业经验的高端人才
9个研发机构
内设研发机构，覆盖全产业链
核心研发设备
ターゲットスパッタリング検証のコア設備。スパッタリング薄膜堆積プロセスの研究に使用。
到達真空
≤5.0×10⁻⁶Pa
スパッタ電力
DC/RF 500W
基板サイズ
≤4インチ
温度範囲
RT-800°C
国内業界最大級の双動銅押出機の一つ。乳源生産拠点に位置し、高級銅合金材料に強力な加工能力を提供する。
公称圧力
5500トン
コンテナ径
Φ280-420mm
押出比
最大50:1
製品長さ
≤25m
華南地方最大規模の熱間等方性プレス。高性能金属および先端材料に緻密化処理を提供する。
最高温度
1400°C
最高圧力
200MPa
ワークゾーン
Φ500×1000mm
温度均一性
±5°C
薄膜の導電性を高精度に測定。ターゲット・金属薄膜などの抵抗率試験に適用。
抵抗率範囲
10⁻⁵~10⁵ Ω·cm
シート抵抗
10⁻³~10⁶ Ω/□
測定精度
±0.5%
プローブ間隔
1.0mm
ナノスケールの表面精密検査。薄膜厚さ・表面粗さなどの形状パラメータ測定に使用。
垂直分解能
≤0.1nm
スキャン範囲
≤50mm
最大試料厚
50mm
ステージサイズ
200×200mm
半導体グレードのクリーン環境。露光機・現像機などを備え、フォトリソグラフィ工程の研究開発に使用。
清浄度クラス
Class 1000
リソグラフィ解像度
≤1μm
露光面積
≤6インチ
重ね合わせ精度
≤0.3μm
材料の微細形態観察および組成分析に使用。分解能はナノメートルレベルに達する。
二次電子分解能
≤3.0nm@30kV
倍率
7X~1,000,000X
加速電圧
200V~30kV
EDS分析
B-U元素
材料の定性・定量相分析。ターゲット・薄膜などの結晶構造解析に使用。
角度範囲
5°~140°(2θ)
測定精度
±0.01°
X線源
Cu Kα
最大電力
3kW
誘導結合プラズマ発光分光装置。材料内の元素含有量分析に使用。
波長範囲
167-852nm
分析精度
ppmレベル
検出限界
ppbレベル
線形範囲
5-6桁
金属材料内の酸素・窒素・水素含有量を高精度に測定する。
酸素検出範囲
0.05ppm~5.0%
窒素検出範囲
0.05ppm~3.0%
水素検出範囲
0.1ppm~0.25%
検出限界
0.025ppm(O)
