半導体ディスプレイターゲット
半導体ディスプレイターゲットには、主にITOターゲット、モリブデンターゲット、アルミニウムターゲットなどの平面ディスプレイ用スパッタリングターゲットが含まれ、TFT-LCD、AMOLEDなどのディスプレイパネルの薄膜トランジスタ電極と配線層の準備に適用されます。
製品リスト
全 6 製品
ITOターゲット
TFT-LCDディスプレイパネル用高純度平面ITOターゲット
G11/G10.5/G8.5/G5高世代ライン用TFT/OLEDターゲット、長さ最大4000mm、AMAT/ULVAC等のコーティング装置に適合。
モリブデンターゲット（Moターゲット）
TFT-LCDディスプレイパネル用高純度モリブデンターゲット
ディスプレイパネル用モリブデンスパッタリングターゲット、電極および配線層に使用
アルミニウムターゲット（Alターゲット）
TFT-LCDディスプレイパネル用高純度銅ターゲット
ディスプレイパネル用高純度アルミニウムスパッタリングターゲット、G8.5仕様、国内初の顧客検証通過
回転ITOターゲット
高世代ライン用回転ITOターゲット
TFT/OLED高世代ライン用回転ITOターゲット、長さ最大4000mm、スパッタリング効率および利用率が高い。
回転アルミニウムターゲット
高純度回転アルミニウムターゲット
TFT-LCDディスプレイパネル用高純度回転アルミニウムターゲット、AMAT/ULVAC等のコーティング装置に適合。
回転銅ターゲット
高純度回転銅ターゲット
TFT-LCDディスプレイパネル用高純度回転銅ターゲット、導電性に優れ、高世代ラインに適用。
