オマット新材料研究所

オマット新材料研究所は6つの市級・省部級研究プラットフォームと9つの内部研究開発機構を設立し、国内外の先進的な業界経験を持つ多数の高度人材を擁し、先進銅材料・ターゲット材製造技術・半導体電子材料・薄膜技術・新エネルギー材料(太陽電池、動力電池)・高純度金属・希散金属・検測分析技術などの分野を研究し、研究・生産・応用一体化の革新体系構築に取り組んでいます。

研究開発プラットフォーム構成

R&D PLATFORM ARCHITECTURE

オマット新材料研究所

コア研究開発設備

マグネトロンスパッタリング装置

マグネトロンスパッタリング装置

四端子抵抗測定システム

四端子抵抗測定システム

ブルカー表面形状測定機

ブルカー表面形状測定機

フォトリソクリーンルーム

フォトリソクリーンルーム

タングステン熱電子銃走査型電子顕微鏡

タングステン熱電子銃走査型電子顕微鏡

XRD X線回折装置

XRD X線回折装置

ICP発光分光分析装置

ICP発光分光分析装置

ONH分析装置 (酸素/窒素/水素)

ONH分析装置 (酸素/窒素/水素)

金属顕微鏡

金属顕微鏡

微小ビッカース硬さ試験機

微小ビッカース硬さ試験機

レーザー粒度分布測定装置

レーザー粒度分布測定装置

比表面積測定装置

比表面積測定装置

知能型曲げ強度試験機

知能型曲げ強度試験機

試験分析クリーンルーム

試験分析クリーンルーム