ITOターゲット

TFT-LCDディスプレイパネル用高純度平面ITOターゲット

ITOターゲット

製品紹介

G11/G10.5/G8.5/G5高世代ライン用TFT/OLEDターゲット、長さ最大4000mm、AMAT/ULVAC等のコーティング装置に適合。

機能特性

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技術仕様

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モリブデンターゲット(Moターゲット)

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